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真空等離子清洗機常用泵的真空度和適用范圍的介紹!

返回列表 來源:真空技術與設備網 瀏覽: 發布日期:2021-11-02 16:22【
文章導讀:真空泵是真空等離子清洗機必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機腔體真空度無法達到處理要求。真空泵種類繁多,可能很多使用者不是特別清楚,對于真空泵的選型是設計工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍,可以有助于等離子清洗機進行真空泵的選型。
        真空泵是真空等離子清洗機必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機腔體真空度無法達到處理要求。真空泵種類繁多,可能很多使用者不是特別清楚,對于真空泵的選型是設計工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍,可以有助于等離子清洗機進行真空泵的選型。
真空等離子清洗機
        1.液環泵是一種粗真空泵。液環泵中氣體壓縮是等溫的,所以可用于抽除易燃易爆的氣體,此外還可用于抽除含塵、含水的氣體。受工作液飽和蒸氣壓的限制,真空度低。用水做工作液,極限真空 2000 ~ 4000Pa ;用油作工作液,極限真空約130Pa。
        2.旋片泵是一種油封式機械真空泵。它可直接從大氣壓起動抽氣 ;可單獨做低真空泵用,也可與其他高真空泵組合作為前級泵用;體積小、重量輕、噪音低,特別適合實驗室使用;該泵不可用來抽含氧過高的、有毒的易爆的或與泵油發生化學作用的或對黑色金屬有腐蝕作用的氣體。極限真空 ≤1.3Pa。
        3.滑閥泵是一種油封式機械真空泵。常用在大型真空設備上,具有高真空、低噪音、少震動,壽命長,不易漏油的特點,可用于抽有較高溫度、有輕微粉塵和腐蝕性的氣體,特別是含少量水蒸氣的混合氣體。分為單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵 ≤0.6Pa,對大泵 ≤1.3Pa(均關氣鎮),雙級泵的極限壓力 ≤0.06Pa(關氣鎮)。抽速大于150L/s 的滑閥泵多采用單級型式。
        4.羅茨泵是一種變容真空泵。特點是啟動快,耗功少,運轉維護費用低,抽速大、效率高,對被抽氣體中含少量水蒸氣和灰塵不敏感,在100 ~ 1Pa 壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體,不需要油潤滑 ;轉速可高達3450 ~ 4100r/min;抽氣速率為30~ 10000L/s。極限真空:單級泵為6.5×102Pa,雙級泵為1×103Pa。
        5.擴散泵是一種動量傳輸泵。特點是可獲得高真空,用于真空冶煉鍍膜、空間模擬實驗和對油污染不敏感的真空系統。極限真空為10-4~ 10-5Pa。
        6.往復泵是一種變容真空泵,有干式和濕式之分。抽氣量范圍大,可達15 ~ 5 500L/s,抽氣效率不高。不適用抽除腐蝕性或含微小顆粒的氣體,如果被抽氣體中含顆粒,進口處必裝過濾器。單級泵極限真空約為400 ~ 103Pa,雙級泵極限真空約為1Pa。
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